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NS-XY100-03 紧凑型XY二维纳米定位平台
NS-XY100-03是一款高精度紧凑型二维纳米定位平台,尺寸小巧76x76x23.5mm。闭环行程可达100x100μm,闭环分辨率 0.5/0.5nm。
典型应用
• 显微成像 • 材料分析
• AFM/SPM • 光学扫描
• 半导体加工
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